MAŇKA, Tadeáš. Konstrukce odměřovacího systému pro systém reaktivního iontového leptání [online]. Brno, 2016 [cit. 2019-03-21]. Dostupné z: http://hdl.handle.net/11012/60675. Diplomová práce. Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství. Vedoucí práce Mojmír Šerý.
Uložit do Citace PRO